一种碳化硅单晶连续生长装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅单晶连续生长装置，包括依次连通的原料仓、生长仓和回收仓、用于将原料仓中的碳化硅多晶原料送入生长仓中的送料机构，送料机构还用于将生长仓中的残渣送入回收仓中，送料机构沿其送料方向依次经过原料仓、生长仓、回收仓；生长仓包括坩埚本体、可升降的套设或穿设于坩埚本体上部的且用于在其下表面安装籽晶的坩埚盖、用于驱动坩埚盖升降的驱动机构、用于为坩埚本体加热的加热机构；坩埚盖位于送料机构的上方。本实用新型一种碳化硅单晶连续生长装置，可以对坩埚本体中的碳化硅多晶原料不断进行补充，以保证碳化硅单晶的连续生长，从而获得大尺寸碳化硅单晶；同时不影响碳化硅多晶原料的输送和碳化硅单晶的生长条件。

基本信息

专利标题：

一种碳化硅单晶连续生长装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921206486.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-29

授权号：

CN210287579U

授权日：

2020-04-10

发明人：

李留臣

申请人：

江苏星特亮科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市张家港市杨舍镇东莱东黎路8号（星特亮）

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

刘鑫

优先权：

CN201921206486.9

主分类号：

C30B23/00

IPC分类号：

C30B23/00 C30B29/36