一种用于半导体制程工艺的烤箱装置
授权
摘要
本实用新型公开一种用于半导体制程工艺的烤箱装置；包括带有烘烤功能的烤箱本体，该所述的烤箱本体的两侧内壁均设置有上下间隔均匀的若干组横向挂杆；两侧的横向挂杆均对称设置，而每一组横向挂杆则均包括有若干个纵向间隔均匀的单个横向挂杆组成；而两侧相对应的每组横向挂杆上还均设置有L形状结构的挂板。本实用新型的烤箱内部的空间可自由自主的分隔成可大可小的不同层数的储存空间。
基本信息
专利标题 ：
一种用于半导体制程工艺的烤箱装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921308348.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-13
授权号 ：
CN210399765U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
刘东明周鑫
申请人 ：
上海旻艾半导体有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区南汇新城镇飞渡路66号6栋
代理机构 ：
南京申云知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
于贺贺
优先权 ：
CN201921308348.1
主分类号 ：
F26B9/06
IPC分类号 ：
F26B9/06 F26B23/00 F26B25/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B9/00
静态下或只是局部摇动干燥固体材料或制品的机器或设备；家用晾晒柜
F26B9/06
在固定的筒或室内
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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