一种半导体晶圆加工用硅圆片切割设备
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体晶圆加工用硅圆片切割设备,包括机体和左立柜,所述机体的左端通过螺丝栓接固定连接有左立柜,所述机体的右端通过螺丝栓接固定连接右立柜,所述右立柜的前端倾斜面处嵌入有控制面板,所述控制面板与电源电性连接,所述机体的底端端面在位于四周边角处镶嵌有垫脚,所述机体的顶端通过螺丝栓接架设有蜂窝垫板,所述蜂窝垫板的下方在位于机体的前端端面处纵向嵌入有废料抽屉,所述废料抽屉可在力的作用下相对于机体进行前后移动,所述蜂窝垫板的左右两侧在位于左立柜和右立柜的内部纵向内陷有滑道,来任意调节该装置在玻璃视窗顶端的位置,使用更加人性化,同时也更加便捷。

基本信息
专利标题 :
一种半导体晶圆加工用硅圆片切割设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921555598.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-18
授权号 :
CN210908566U
授权日 :
2020-07-03
发明人 :
王浩明陈永萍张莉张广德
申请人 :
苏州子山半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区唯新路69号一能科技园5幢102室
代理机构 :
苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人 :
薛芳芳
优先权 :
CN201921555598.5
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38  B23K26/402  B23K26/70  B23K26/08  B23K26/16  F21V33/00  F21Y115/10  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2020-07-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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