一种半导体芯片的加工装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体芯片的加工装置,属于芯片加工技术领域,包括箱体,箱体的内壁上设置有静电发生器,箱体的顶端设置有传动丝杆,箱体的一侧设置有与传动丝杆相对应的第一驱动电机,箱体的内部设置有金属支撑板,所述箱体的底端设置有第一电动伸缩杆,第一电动伸缩杆的上方设置有与金属支撑板相对应的第二驱动电机,第二驱动电机与第一电动伸缩杆的连接处设置有支架,金属支撑板的上方设置有喷涂机构,喷涂机构包括限位滑块;本实用新型结构简单,使用方便,使用时通过喷头向半导体芯片喷涂光阻液,并且可以对喷头的位置进行多方位调节,从而使加工装置对光阻液喷涂的更加均匀,提升加工质量。
基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片的加工装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921557308.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-19
授权号 :
CN210614110U
授权日 :
2020-05-26
发明人 :
陈建华薛敬伟王锡胜胡长文刘庆贵
申请人 :
盐城矽润半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省盐城市滨海经济开发区工业园人民南路延伸段(滨海治润电子有限公司内)
代理机构 :
北京艾皮专利代理有限公司
代理人 :
丁艳侠
优先权 :
CN201921557308.0
主分类号 :
B05B13/02
IPC分类号 :
B05B13/02 B05B15/00 B05B5/025 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
法律状态
2020-05-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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