一种微元件的转移装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本申请公开了一种微元件的转移装置，所述转移装置包括：转移基板；多个转移头，其中，多个所述转移头以阵列方式固定在所述转移基板至少一侧的表面上，每个所述转移头分别包括负热膨胀件，以在对应的所述转移头加热时向所述转移基板一侧收缩；控制组件，分别连接多个所述转移头，并选择多个所述转移头中的部分执行加热操作，其中，被选中的所述转移头中的所述负热膨胀件向所述转移基板一侧收缩，以突出未被选中的所述转移头，从而利用未被选中的所述转移头转移所述微元件。通过上述方式，本申请能够对微元件进行选择性批量拾取。
基本信息
专利标题 ：
一种微元件的转移装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921620940.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN210956632U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
崔霜王程功王雪丹杨婷慧盖翠丽郭恩卿樊腾
申请人 ：
云谷（固安）科技有限公司
申请人地址 ：
河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
代理机构 ：
广东君龙律师事务所
代理人 ：
丁建春
优先权 ：
CN201921620940.5
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L33/48
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-01-01 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/683
登记生效日 : 20201221
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 云谷（固安）科技有限公司
变更后权利人 : 成都辰显光电有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 065500 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
变更后权利人 : 611731 四川省成都市成都高新区天映路146号
登记生效日 : 20201221
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 云谷（固安）科技有限公司
变更后权利人 : 成都辰显光电有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 065500 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
变更后权利人 : 611731 四川省成都市成都高新区天映路146号
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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