具有防呆装置的晶圆载片清洗治具
授权
摘要
本实用新型是关于一种具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其包含：能分离地叠合的两放置架，各放置架包含外环壁、放置单元及防呆部，放置单元排列受外环壁围绕，各放置单元包含周壁及周壁围成的容置空间，防呆部包含多个卡合凸块，其凸设在外环壁，卡合凸块能与输送该放置架的一传动装置相卡合；为改善现有的技术晶圆清洗装置的缺失，实用新型的防呆部能和传动装置相卡合，避免放置架在受传动装置输送时滑移或晃动，提升放置架的输送稳定度。
基本信息
专利标题 ：
具有防呆装置的晶圆载片清洗治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921625997.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-27
授权号 ：
CN210272284U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
林璟棠
申请人 ：
林璟棠
申请人地址 ：
中国台湾新北市
代理机构 ：
北京寰华知识产权代理有限公司
代理人 ：
何尤玉
优先权 ：
CN201921625997.4
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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