一种芯片封装设备的顶针模组
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摘要

本实用新型公开了一种芯片封装设备的顶针模组,包括滑台、步进电机、安装座、顶杆和顶针,所述安装座安装在滑台的上端,所述步进电机固定在安装座的一侧,所述步进电机上连有偏心轴,顶杆与安装座滑动配合,顶杆的下端与偏心轴接触连接,所述顶针通过顶针夹固定在顶杆的上端,所述顶针的外部套有顶针帽,所述顶针帽与安装座密封连接,顶针帽的上端设有针孔和吸孔。利用步进电机带动偏心轴运动,来带动顶针进行上、下移动,运行稳定,保证设备长期持续的平稳运行,而且顶杆通过偏心轴带动,结构简单,容易保证顶针移动位置精确性,提高了顶针的运行精度,避免损伤芯片,解决了现有顶针模组运行精度低容易损伤芯片的问题。

基本信息
专利标题 :
一种芯片封装设备的顶针模组
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922084111.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-26
授权号 :
CN210489591U
授权日 :
2020-05-08
发明人 :
范华王新忠范军朋付凤之张学林
申请人 :
山东省科学院激光研究所
申请人地址 :
山东省济宁市海川路9号高新区产学研基地A3号楼B座
代理机构 :
济南诚智商标专利事务所有限公司
代理人 :
李怀秋
优先权 :
CN201922084111.6
主分类号 :
H01L21/683
IPC分类号 :
H01L21/683  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-05-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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