一种晶圆夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆夹具，属于芯片加工技术领域，包括主臂以及与主臂转动连接的侧臂，所述侧臂连接有长度能够调节的伸缩臂，所述伸缩臂的末端设有吸盘，所述主臂的底部设有限位槽。本实用新型操作方便，夹持牢固性高，晶圆不易滑落摔碎。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922103490.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-29
授权号 ：
CN211208415U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
孔剑李志华刘景业徐晨晨
申请人 ：
东台镭创光电技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市东台经济开发区中欧产业园4号厂房
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN201922103490.9
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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