本实用新型公开了一种半导体设备的器件清洗装置；属于设备清洗技术领域；其技术要点包括一种半导体设备的器件清洗装置，包括底座和清洗罩，底座的两侧表壁共同通过轴承转动连接有第一螺纹杆，第一螺纹杆的另一端延伸至底座的外部并固定连接有第二皮带轮，第一螺纹杆上螺纹连接有螺纹套，螺纹套的上表壁固定连接有固定杆，本实用新型螺纹套通过固定杆带动U型支撑座实现了水平移动，将夹持装置移动至清洗罩的左侧，使超声波发射器对晶片进行清洗，从而实现二次清洗，能够有效的的对半导体设备的器件进行清洗，第二夹板可以水平移动，可以适用于不同大小的晶片。