一种芯片金属凸块的成型方法
授权
摘要

本发明公开了一种芯片金属凸块的成型方法,包括如下步骤:提供硅基板,所述硅基板的上表面形成有焊盘和钝化层;在钝化层的上表面及焊盘的上表面覆盖第一种子层;在第一种子层的上表面依次成型若干层叠放的光阻层,并在每层光阻层上都去除有部分光阻层以形成窗格;其中,上下相邻的两个窗格中位于上侧的窗格的尺寸大于位于下侧的窗格的尺寸且位于上侧的窗格对下侧的窗格形成覆盖;在最下侧的窗格内第一种子层的上表面成型第一电镀层,在第一电镀层之上成型金属凸块,最后采用回流工艺将金属凸块成型为金属球。本发明通过现有的电镀制程条件,克服光阻能力的限制,提高电镀锡量电镀成球,改善了成球质量降低了成本。

基本信息
专利标题 :
一种芯片金属凸块的成型方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112017978A
申请号 :
CN202010870940.1
公开(公告)日 :
2020-12-01
申请日 :
2020-08-26
授权号 :
CN112017978B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
黄文杰
申请人 :
颀中科技(苏州)有限公司;北京奕斯伟科技有限公司;合肥奕斯伟封测技术有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区凤里街166号
代理机构 :
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
胡彭年
优先权 :
CN202010870940.1
主分类号 :
H01L21/60
IPC分类号 :
H01L21/60  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件,例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/50
应用H01L21/06至H01L21/326中的任一小组都不包含的方法或设备组装半导体器件的
H01L21/60
引线或其他导电构件的连接,用于工作时向或由器件传导电流
法律状态
2022-04-08 :
授权
2022-02-15 :
著录事项变更
IPC(主分类) : H01L 21/60
变更事项 : 申请人
变更前 : 颀中科技(苏州)有限公司
变更后 : 颀中科技(苏州)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
变更后 : 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
变更事项 : 申请人
变更前 : 合肥颀中封测技术有限公司
变更后 : 合肥颀中科技股份有限公司
2021-06-29 :
著录事项变更
IPC(主分类) : H01L 21/60
变更事项 : 申请人
变更前 : 颀中科技(苏州)有限公司
变更后 : 颀中科技(苏州)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
变更后 : 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
变更事项 : 申请人
变更前 : 北京奕斯伟科技有限公司 合肥奕斯伟封测技术有限公司
变更后 : 北京奕斯伟材料技术有限公司 合肥颀中封测技术有限公司
2021-06-29 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : H01L 21/60
登记生效日 : 20210617
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 颀中科技(苏州)有限公司
变更后权利人 : 颀中科技(苏州)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
变更后权利人 : 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 西安奕斯伟材料科技有限公司 合肥颀中封测技术有限公司
变更后权利人 : 合肥颀中封测技术有限公司
2021-06-29 :
著录事项变更
IPC(主分类) : H01L 21/60
变更事项 : 申请人
变更前 : 颀中科技(苏州)有限公司
变更后 : 颀中科技(苏州)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
变更后 : 215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号
变更事项 : 申请人
变更前 : 北京奕斯伟材料技术有限公司 合肥颀中封测技术有限公司
变更后 : 西安奕斯伟材料科技有限公司 合肥颀中封测技术有限公司
2020-12-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/60
申请日 : 20200826
2020-12-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN112017978A.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332