本发明公开了一种化学抛光夹具，该夹具整体呈圆柱形，在其圆柱的顶部的圆形面上设置有矩形凹槽、预留取片口、环形凹槽和棒形凹槽；矩形凹槽设置在所述顶部的圆形面的中心区域，呈矩形，用于放置待抛光的晶片或薄膜；在矩形凹槽的四个角上分别设置一个与之连通的预留取片口；在矩形凹槽与顶部的圆形面的边缘区间呈同心放射状设置有至少一条呈闭环的环形凹槽；在由顶部的圆形面的边缘指向矩形凹槽的中心的位置沿径向设置至少一条棒形凹槽，其长度能够覆盖所述的四条环形凹槽。本发明可以保证抛光材料表面的抛光均匀性，并且方便移取和清洗材料，操作简单，同时可以解决传统化学抛光中蜡引入污染对衬底表面造成不良影响的问题。