一种SE电池碱刻蚀方法以及SE电池
公开
摘要
本发明提供一种SE电池碱刻蚀方法以及SE电池，所述方法依次包括背面去PSG、正面氧化、背面碱刻蚀和去除正面氧化层的步骤，所述正面氧化为在背面去PSG后的硅片正面覆盖酸液，而后在紫外灯管的照射下进行光催化氧化，在正面形成氧化层。本发明的SE电池碱刻蚀方法可实现SE电池背面碱抛，同时保护正面开口区域，有效提升电池效率，无需额外的昂贵设备，操作简单，成本低。
基本信息
专利标题 ：
一种SE电池碱刻蚀方法以及SE电池
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114597283A
申请号 ：
CN202011436188.6
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
叶晓亚曹芳周思洁邹帅王栩生
申请人 ：
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
巩克栋
优先权 ：
CN202011436188.6
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
