本实用新型公开了一种粉尘清理机构，包括：除粉腔室，用于放置工件，工件在除粉腔室内静止放置或者相对除粉腔室沿第一水平方向移动；毛刷组件，安装于除粉腔室内，与工件的表面接触，可相对工件沿第一水平方向往复移动；吹气口，设置于除粉腔室内，朝向工件的表面吹气；吸尘器，与除粉腔室相连通。本实用新型还公开了一种等离子蚀刻装置，包括蚀刻腔室以及粉尘清理机构，活动闸板可分隔或连通蚀刻腔室和除粉腔室。本粉尘清理装置通过毛刷组件与工件的表面接触，并相对往复移动以将工件表面的粉尘清扫，结合吹气口朝向工件的表面吹气，从而将粉尘扬起，使脱离工件表面的粉尘能够被吸尘器吸走，从而有效地清理掉工件表面的残留粉尘，提高蚀刻效率。