单硅晶片生产用甩干装置
授权
摘要
本实用新型公开了单硅晶片生产用甩干装置，包括甩干装置壳体、控制箱、旋转甩干机构、热吹风机构，所述甩干装置壳体右侧设置有所述控制箱，所述甩干装置壳体内部设置有所述旋转甩干机构，所述旋转甩干机构上部设置有所述热吹风机构。有益效果在于：通过所述甩干装置壳体实现装置的密封，提高甩干装置的密封性，通过所述旋转甩干机构和所述热吹风机构实现对单硅晶片的甩干，通过干燥的质量和干燥速度，保证干燥过程的清洁度。
基本信息
专利标题 ：
单硅晶片生产用甩干装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020218832.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-27
授权号 ：
CN212030032U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
沈培琴
申请人 ：
浙江贝盛新材料科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市吴兴区织里镇珍贝路800号
代理机构 ：
北京艾皮专利代理有限公司
代理人 ：
马小辉
优先权 ：
CN202020218832.1
主分类号 ：
F26B5/08
IPC分类号 ：
F26B5/08 F26B11/08 F26B25/16 F26B21/00 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B5/00
不需要使用加热方法干燥固体材料或制品
F26B5/08
用离心处理
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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