找晶平台
授权
摘要
本申请提供了一种找晶平台。找晶平台包括：晶圆支撑机构，包括基板、用于支撑晶框的环形座、用于定位晶框的弧形板、用于朝向弧形板抵持晶框固定的顶推组件和支撑环形座转动的转动组件；以及，移动平台，包括用于驱使基板沿第一方向移动的第一驱动组件和用于驱动第一驱动组件沿第二方向移动的第二驱动组件；第一驱动组件安装于第二驱动组件上，基板安装于第一驱动组件上；弧形板安装于环形座的一侧，顶推组件安装于环形座的另一侧，转动组件安装于基板上。本申请的找晶平台采用顶推组件与弧形板配合夹紧晶框，固定晶框的顶推组件和弧形板结构简单，装载和定位效率更高，有利于降低成本。
基本信息
专利标题 ：
找晶平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020402241.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-25
授权号 ：
CN211578714U
授权日 ：
2020-09-25
发明人 ：
胡新荣
申请人 ：
深圳新益昌科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐汉华
优先权 ：
CN202020402241.X
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L33/48
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2020-09-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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