扩散炉工艺腔室炉口结构
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摘要
本实用新型公开了一种扩散炉工艺腔室炉口结构，工艺腔室的内壁为石英管，工艺腔室炉口的石英管端部突出于外部的加热炉体，该端部外周含有一圈环形凸起，环形凸起前方的前管部外周对应套设一个前置法兰，环形凸起后方的后管部外周对应套设一个后置法兰；在前置法兰和后置法兰之间安装有一个中间法兰，中间法兰位于环形凸起的外侧，在中间法兰的内周和环形凸起的外周之间留有一段空隙，在空隙内填装一个耐高温弹性垫圈和径向密封圈。本实用新型的扩散炉将现有技术中的一个密封圈分解为径向密封和轴向密封，使轴向密封圈离石英管中心更远，减小热量辐射影响，降低损耗速度，延长使用寿命，采用填装空隙的安装方式技术要求低，安装更加便捷、可靠。
基本信息
专利标题 ：
扩散炉工艺腔室炉口结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020414630.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-27
授权号 ：
CN212051727U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
陈庆敏吴晓松刘永法李丙科
申请人 ：
无锡松煜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区硕放街道工业园区五期振发二路16号
代理机构 ：
江苏漫修律师事务所
代理人 ：
熊启奎
优先权 ：
CN202020414630.4
主分类号 ：
C30B31/10
IPC分类号 ：
C30B31/10 H01L21/223 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/10
反应室；其所用材料的选择
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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