一种用于晶体生长炉的减震装置
授权
摘要

本实用新型提供了一种用于晶体生长炉的减震装置,包括连接管路,所述连接管路包括用于连接晶体生长炉和真空泵的真空管路,所述真空管路外侧依次设置有阻尼材料填充层和空气管路层;空气减震装置,所述空气减震装置包括第一空气垫、第二空气垫和充气装置,所述第一空气垫用于连接真空泵的底部,所述第二空气垫用于连接晶体生长炉的底部,所述充气装置分别与第一空气垫、第二空气垫和空气管路层连通。本实用新型通过在真空管路外侧设置阻尼材料填充层和真空管路层,通过阻尼材料填充层和空气管路层的双重减震,显著降低了真空管路的震动,且将空气减震应用到晶体生长炉、真空泵和管路,提高了减震效果,使炉体内基本上处于一个静止的状态。

基本信息
专利标题 :
一种用于晶体生长炉的减震装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020630350.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-23
授权号 :
CN212338011U
授权日 :
2021-01-12
发明人 :
李帅李乃庆李宏刚赵建国李函朔
申请人 :
山东天岳先进科技股份有限公司
申请人地址 :
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 :
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘德顺
优先权 :
CN202020630350.7
主分类号 :
F16F15/023
IPC分类号 :
F16F15/023  F16F15/02  C30B35/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16F
弹簧;减震器;减振装置
F16F
弹簧;减震器;减振装置
F16F15/00
系统中振动的抑制
F16F15/02
非旋转系统振动的抑制,如往复系统;通过利用不与旋转系统一起运动的元件抑制旋转系统的振动
F16F15/023
使用流体装置
法律状态
2021-01-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332