一种等离子辅助化学气相沉积设备
授权
摘要
本实用新型属于气相沉积设备领域，具体涉及一种等离子辅助化学气相沉积设备，包括真空箱，所述真空箱的右端固定连接有气动阀，所述气动阀的右端固定连接有真空管道，所述真空管道的下端固定连接有罗茨泵，所述罗茨泵的下端固定连接有支撑架，所述支撑架的下端固定连接有底板，所述底板内通过螺纹连接有锁紧钉，所述底板的下端固定连接有轮架，所述轮架的内部固定连接有轮轴，所述轮轴的外侧转动连接有车轮。本实用新型通过设计的底板下端设计套筒，套筒内安装弹簧和接触杆，且在地面预埋连接套和接地杆，通过弹簧的弹力作用构成可靠的接触结构，使得设备漏电时，可以可靠地将电流进行疏散，从而使得设备的安全性高。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子辅助化学气相沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020838071.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-19
授权号 ：
CN212451634U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
朱双林李春敏马国忠胡人文王恩强黄道平沈伟
申请人 ：
苏州索科特新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市张浦镇欣合路6号1幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020838071.X
主分类号 ：
C23C16/509
IPC分类号 ：
C23C16/509
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
C23C16/505
采用射频放电
C23C16/509
采用内电极
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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