具有保护功能的半导体器件测试装置
授权
摘要
本实用新型属于半导体器件测试技术领域，公开一种具有保护功能的半导体器件测试装置，包括：测试回路单元，电性连接于被测器件单元形成保护支路；采集保护单元，采集所述被测器件单元的至少一电性能参数信号，所述采集保护单元根据所述电性能参数信号判断所述被测器件单元是否失效，当所述被测器件单元失效时，所述采集保护单元控制所述测试回路单元使得电流从所述被测器件单元换流到所述保护支路。
基本信息
专利标题 ：
具有保护功能的半导体器件测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021141177.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-18
授权号 ：
CN212965267U
授权日 ：
2021-04-13
发明人 ：
赵彪任春频曾嵘刘佳鹏陈政宇余占清
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园1号
代理机构 ：
北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张陆军
优先权 ：
CN202021141177.0
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 G01R1/36
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2021-04-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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