本发明涉及一种半导体器件测试装置，包括：基座，设置在基座上的转盘，在转盘一侧设置的移动机构；转盘上设置有多个均匀排列的测试治具，在测试治具内设置有用于半导体进行测试的载具，在载具上设置有多个用于半导体器件放置的定位槽；移动机构的上部设置有CCD相机组件以及激光打标组件；测试治具上具有用于半导体器件功能测试的矩阵电路；矩阵电路具有多个独立的测试单元，以及具有判断部、存储部、控制部和执行部；本发明通过测试逻辑来追踪测试信号与半导体器件之间的导通，半导体器件具有多个功能节点，每一功能节点都按照设定的测试条件进行测试，以及通过测试事件（不同功能节点的测试内容不同）得到每一功能节点的测试结果。