一种新型园桶形对称多片碳化硅外延生长反应管结构
授权
摘要
本实用新型涉及一种新型园桶形对称多片碳化硅外延生长反应管结构，涉及制造碳化硅外延晶片生长设备技术领域，桶式结构能极大地提高碳化硅外延片的产量，且衬底的温度均匀性能自然得到保证；随着衬底尺寸的增大，桶的直径也可增大，加热线圈可做成多片扇形，石墨桶也可由若干扇面拼接而成；每炉更换反应管主体，故外延生长的初始状态恒定，克服当前普遍存在的重复性问题；使用机械手操作，不浪费机时；采用管子套管子结构降低使用成本；设有激光在线膜厚监控及双波长在线测温装置；注重采用气流及水流对称性设计以确保生长参数自然均匀；本实用新型属近耦合体系，膜厚的均匀性易得到保证。
基本信息
专利标题 ：
一种新型园桶形对称多片碳化硅外延生长反应管结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021386815.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-15
授权号 ：
CN212375420U
授权日 ：
2021-01-19
发明人 ：
方文卿蒲勇程海英陈炳安赵鹏杨超普
申请人 ：
南昌大学
申请人地址 ：
江西省南昌市红谷滩新区学府大道999号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021386815.5
主分类号 ：
C30B29/36
IPC分类号 ：
C30B29/36 C30B25/08 C30B25/10 C30B25/16
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2021-01-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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