一种新型硅片清洗篮
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型硅片清洗篮，包括两个U型板，两个U型板的一端侧壁上分别设有十一个定位孔，所述定位孔为螺丝通孔，二十二个螺丝通孔内均贯穿设有螺丝，每对螺丝通孔均配合螺丝套接有吊杆。本实用新型能对不同大小的硅片进行清洗，具有兼容性，解决了不同大小的硅片只能用不同清洗篮麻烦和浪费的问题。可以清洗适用不同大小和厚度的硅片，同时保持了硅片之间的间隙，避免了相邻两个硅片在清洗时容易粘连或刮碰造成损坏的情况发生，避免附着水份，造成烘干困难或残留水份，提高烘干效率，方便对硅片进行稳定放置，并且还具备耐化学腐蚀性、耐高温性、耐氧化性等性能，延长了清洗篮的使用寿命，还减轻了整体的重量，实用性强。
基本信息
专利标题 ：
一种新型硅片清洗篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021405378.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-16
授权号 ：
CN212380398U
授权日 ：
2021-01-19
发明人 ：
王国贵
申请人 ：
天津奥利文科技有限公司
申请人地址 ：
天津市河东区卫国道189号(帅越地热科技开发中心315室)
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021405378.7
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-01-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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