一种半导体芯片研磨装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体芯片研磨装置,属于半导体芯片制造技术领域,包括工作台,所述工作台的下端两侧设置有支撑脚,所述工作台的上端一侧设置有支撑杆,所述支撑杆的上端设置有顶板,所述顶板的下端设置有滑动座,本实用新型通过设置气缸、第一电机和第二电机等,可实现打磨片通过滑动板和滑动座进行移动,可对半导体芯片指定位置进行打磨,提高了装置的实用性,满足了半导体芯片不同位置的打磨工作,本实用新型通过鼓风机与抽风机的配合,可将打磨产生的灰尘通过吸尘管吸入到集尘箱中,再通过将灰尘与集尘箱中的水进行溶解,最后通过污水阀将污水进行排出,使装置的污染变小,让装置更加绿色化。
基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片研磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021413482.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-17
授权号 :
CN213054299U
授权日 :
2021-04-27
发明人 :
郭丽霞刘露雨
申请人 :
刘露雨
申请人地址 :
广东省广州市南沙区东涌镇大简村简兴北路
代理机构 :
广州本诺知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
梁鹏钊
优先权 :
CN202021413482.0
主分类号 :
B24B37/11
IPC分类号 :
B24B37/11 B24B37/27 B24B37/34 B24B47/20 B24B55/06 B24B55/12
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/11
研具
法律状态
2021-04-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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