一种新型半导体芯片研磨装置
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摘要
本实用新型涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种新型半导体芯片研磨装置,包括机架,机架内侧顶端固定连接有液压伸缩轴,且液压伸缩轴下端固定连接有连接板,连接板上端左右两侧均贯穿有导向杆,且连接板下端左右两侧均固定连接有缓冲弹簧,连接板下端中部固定连接有转动电机,且转动电机下端转动连接有磨轮,机架内侧左右两端的上部均固定连接有支板,且机架内侧左右两端的下部均转动连接有阻尼转轴;通过伸缩气缸的伸缩,且结合夹板便于夹紧多种长度及厚度的半导体芯片,保证了夹紧的适用范围,且通过凹形架的上下翻转,无需再次拆卸安装半导体芯片,利于快速对半导体芯片的正面及反面进行打磨,保证了打磨工作的便捷性。
基本信息
专利标题 :
一种新型半导体芯片研磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021890787.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-02
授权号 :
CN213498498U
授权日 :
2021-06-22
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
无锡嘉翌晗机电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区梅村街道新华路125号
代理机构 :
上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
崔巍
优先权 :
CN202021890787.0
主分类号 :
B24B37/08
IPC分类号 :
B24B37/08 B24B37/28 B24B37/34 B24B47/00 F16F15/067
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/08
用于双侧研磨
法律状态
2021-06-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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