一种吸笔
授权
摘要
本实用新型公开了一种吸笔，属于晶圆片吸附技术领域。所述吸笔包括：支撑杆、若干第一伸缩杆、若干连接杆及若干吸盘；若干所述第一伸缩杆的第一端均与所述支撑杆固定连接；若干所述第一伸缩杆与若干所述连接杆一一对应，所述第一伸缩杆的第二端与相对应的所述连接杆的第一端固定连接；若干所述连接杆与若干所述吸盘一一对应，所述连接杆的第二端与相对应的所述吸盘固定连接。本实用新型吸笔操作简便，不受薄片本身只能吸取特定的一面的限制，双面皆可吸，操作简便，避免吸笔头直接接触晶圆片有效区域而造成损伤，可明显消除由吸笔操作造成的各种损伤。
基本信息
专利标题 ：
一种吸笔
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021530084.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN212517152U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
胡明舒威胡杨陈恳王虎聂铭思
申请人 ：
武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
代理机构 ：
北京众达德权知识产权代理有限公司
代理人 ：
詹守琴
优先权 ：
CN202021530084.7
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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