一种半导体的晶圆制造装置
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种半导体的晶圆制造装置,特别是涉及晶圆制造装置技术领域,包括顶板和底板,顶板位于底板上端,顶板上端开设有上下贯通的锯片槽,通过在切割单晶硅前设置可以按压的滑块,使得单晶硅在移动到锯片槽旁时,通过挤压滑块,使得滑块底部的触点开关将此电动机启动,从而使得锯片向上移动至锯片槽内,进行切割单晶硅,带单晶硅移动到最末端时,通过按压开关按钮使得锯片下移,而在锯片下移的同时,皮带会变得松弛,从而使得缓冲器挤压连杆,让张紧轮挤压皮带,从而防止皮带脱离出上传动轮和下传动轮,这样解决了现有的半导体的晶圆制造装置在进行切割单晶硅时,由于锯片一直暴露在工作台上,这样在不工作时存在着安全隐患的问题。

基本信息
专利标题 :
一种半导体的晶圆制造装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021671438.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-12
授权号 :
CN214110998U
授权日 :
2021-09-03
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
吴琪
申请人地址 :
广东省东莞市樟木头镇沿河路58号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021671438.X
主分类号 :
B28D5/02
IPC分类号 :
B28D5/02  B28D5/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/02
用旋转工具的,例如钻具
法律状态
2021-09-24 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B28D 5/02
登记生效日 : 20210913
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 吴琪
变更后权利人 : 涌淳半导体(无锡)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 523000 广东省东莞市樟木头镇沿河路58号
变更后权利人 : 214135 江苏省无锡市新吴区城南路228号306室
2021-09-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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