一种晶圆探针台
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种晶圆探针台,包括一结构主体,所述结构主体包括测试箱及设于所述测试箱内的晶圆检测装置;所述晶圆检测装置包括检测台,所述检测台上设有滑轨组,所述滑轨组上设有晶圆承载台,所述晶圆承载台一侧设有探针卡影像装置,所述检测台上还设有探针卡承载台,所述探针卡承载台位于所述晶圆承载台上方,所述探针卡承载台前方设有晶圆影像装置;通过晶圆影像装置、探针影像装置及滑轨组的组合作用,实现晶圆承载台及探卡承载台的精准移动,使得探针卡上的探针能够与每颗晶圆对准接触,实现对每颗晶圆的精准测试,有利于精装区分符合参数的晶圆与不符合参数的晶圆。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆探针台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022097382.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-22
授权号 :
CN212569024U
授权日 :
2021-02-19
发明人 :
江永
申请人 :
东莞市凯迪微清洗技术有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市大朗镇洋乌村景富东路38号A1栋3楼302
代理机构 :
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张勋
优先权 :
CN202022097382.8
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26 G01R1/04 G01N21/84 G01B21/08 G01B11/02 G01B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2021-10-22 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01R 31/26
变更事项 : 专利权人
变更前 : 东莞市凯迪微清洗技术有限公司
变更后 : 东莞市凯迪微智能装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523000 广东省东莞市大朗镇洋乌村景富东路38号A1栋3楼302
变更后 : 523000 广东省东莞市大朗镇洋乌村景富东路38号A1栋3楼302
变更事项 : 专利权人
变更前 : 东莞市凯迪微清洗技术有限公司
变更后 : 东莞市凯迪微智能装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523000 广东省东莞市大朗镇洋乌村景富东路38号A1栋3楼302
变更后 : 523000 广东省东莞市大朗镇洋乌村景富东路38号A1栋3楼302
2021-02-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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