一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置,涉及半导体生产装置技术领域,针对现有的生产不稳定的问题,现提出如下方案,其包括生产箱和齿轮组,所述生产箱的中间固定连接有的分隔板,所述分隔板的下方设置有与生产箱固定连接的第一电机,所述第一电机的输出端通过齿轮组连接有第一变速箱,所述第一变速箱通过齿轮组固定套接有与生产箱转动连接的旋转轴,所述旋转轴的外壁滑动套接有旋转杆,本实用新型结构简单,使用方便,可以实现放置板多角度的调节,改变与散气箱的相对位置,同时可以改变喷气箱出气的位置,保证原料生长的稳定和均匀,进而保证成品的质量,降低废品率。
基本信息
专利标题 :
一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022119223.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-24
授权号 :
CN212991113U
授权日 :
2021-04-16
发明人 :
吴思
申请人 :
南京南大光电工程研究院有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市经济技术开发区恒园路龙港科技园B2栋1101室
代理机构 :
上海创开专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
汪发成
优先权 :
CN202022119223.3
主分类号 :
H01L33/00
IPC分类号 :
H01L33/00 H01L21/20 H01L21/67
法律状态
2021-04-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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