一种晶圆片高效分选的清洗装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型涉及晶圆片分选机设备技术领域,尤其是一种晶圆片高效分选的清洗装置,包括支撑座,支撑座的底部固定安装有若干支脚,支撑座的顶部固定安装有清洗台,清洗台上开设有若干放置槽,清洗台的两侧均安装有清洗机构,清洗机构包括往复螺杆,往复螺杆转动安装在清洗台的外侧,往复螺杆上螺纹安装有第二螺纹座,第二螺纹座的外侧与清洗台滑动连接,第二螺纹座的顶部固定安装有喷水座,喷水座的进口端固定安装有进水软管,喷水座的出口端固定安装有喷头,两个往复螺杆的外端均固定安装有链轮,两个链轮之间通过链条传动连接。本实用新型通过喷头将水均匀喷洒到清洗台上,从而对清洗台上的放置槽清洗干净,清理范围广,效率更高。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆片高效分选的清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022294491.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-15
授权号 :
CN213887308U
授权日 :
2021-08-06
发明人 :
韦胜卢凯盛育
申请人 :
苏州百克晶电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022294491.9
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67 H01L21/677
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-13 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B08B 3/02
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州百克晶电子科技有限公司
变更后 : 百克晶半导体科技(苏州)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部
变更后 : 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹西路99号3幢B区1楼106、109室
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州百克晶电子科技有限公司
变更后 : 百克晶半导体科技(苏州)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部
变更后 : 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹西路99号3幢B区1楼106、109室
2021-12-10 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : B08B 3/02
登记号 : Y2021320010492
登记生效日 : 20211123
出质人 : 苏州百克晶电子科技有限公司
质权人 : 苏州融华租赁有限公司
实用新型名称 : 一种晶圆片高效分选的清洗装置
申请日 : 20201015
授权公告日 : 20210806
登记号 : Y2021320010492
登记生效日 : 20211123
出质人 : 苏州百克晶电子科技有限公司
质权人 : 苏州融华租赁有限公司
实用新型名称 : 一种晶圆片高效分选的清洗装置
申请日 : 20201015
授权公告日 : 20210806
2021-08-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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