用于工艺腔室的高导通内部屏蔽物
实质审查的生效
摘要
此处提供在工艺腔室中使用的工艺套件的实施例。在一些实施例中，一种用于在工艺腔室中使用的工艺套件，包括管状主体，所述管状主体具有配置成围绕基板支撑件的中心开口，其中管状主体的侧壁不包括任何通孔；以及顶板，所述顶板耦合至管状主体的上端，且实质上覆盖中心开口，其中顶板具有气体入口，且具有比管状主体的外直径要大的直径，且其中管状主体从顶板直向下延伸。
基本信息
专利标题 ：
用于工艺腔室的高导通内部屏蔽物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114342038A
申请号 ：
CN202080060675.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S·巴布A·朱普迪欧岳生魏俊琪K·莫和田优一张康
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
史起源
优先权 ：
CN202080060675.9
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C14/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20200827
申请日 : 20200827
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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