基板处理装置
公开
摘要
基板处理装置包含处理腔室、上部电极、下部电极、基板安装元件及可变电容器。上部电极设置于处理腔室内侧的上部中并设置为与处理腔室的上表面分隔开。下部电极设置为以离上部电极固定距离分离于上部电极。基板安装元件电性接地且设置为以离下部电极固定距离面对下部电极，在基板安装元件中安装有基板。可变电容器连接于下部电极及接地层之间或连接于下部电极及射频电源供应器的输出端之间。
基本信息
专利标题 ：
基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114375488A
申请号 ：
CN202080064011.X
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
全富一朴鐘仁
申请人 ：
周星工程股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京市立康律师事务所
代理人 ：
梁挥
优先权 ：
CN202080064011.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C16/455 C23C16/509
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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