基板处理装置、基板处理方法以及存储介质
公开
摘要
基板处理装置具备:旋转保持部,其用于保持基板并使所述基板旋转;处理液供给部,其用于向基板的表面供给处理液;涂布控制部,其执行供给处理和涂布处理,所述供给处理包括一边使基板以供给用的旋转速度旋转、一边向该基板的表面供给处理液,所述涂布处理包括在处理液的供给完成之后使基板旋转以使处理液沿着基板的表面扩展;供给开始检测部,其在供给处理的执行过程中基于处理液的喷出流量的时间变化来检测处理液的供给开始定时;以及条件变更部,其基于供给开始定时来至少变更处理液的供给完成定时或供给用的旋转速度,以抑制因供给开始定时相对于目标定时偏离而引起处理液的供给期间中的基板的旋转次数从目标旋转次数偏离。
基本信息
专利标题 :
基板处理装置、基板处理方法以及存储介质
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114616056A
申请号 :
CN202080076231.4
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2020-10-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
加藤宽三
申请人 :
东京毅力科创株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘新宇
优先权 :
CN202080076231.4
主分类号 :
B05B13/02
IPC分类号 :
B05B13/02 B05B13/04 B05B16/20 H01L21/67 H01L21/027
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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