本发明涉及紧固构造、等离子体处理装置以及紧固方法。在利用紧固螺纹件将构成基板处理装置的构件彼此紧固的紧固构造中，使紧固螺纹件不产生松动。一种紧固构造，其对构成基板处理装置的第1构件和第2构件进行紧固，其中，第1构件具有内螺纹部，第2构件具有与内螺纹部对应的贯通孔和与该贯通孔连续并具有比贯通孔的直径大的直径的沉孔部，该紧固构造包括：紧固螺纹件，其具有贯穿于贯通孔并与内螺纹部螺纹结合的外螺纹部和与该外螺纹部的端部连续的螺纹件头部；以及平垫圈，其嵌合于沉孔部，供外螺纹部贯穿，至少螺纹件头部的与平垫圈相对的第1面和平垫圈的与螺纹件头部相对的第2面中的任一者或两者利用润滑材料覆盖。