喷淋头的制造方法、喷淋头以及等离子体处理装置
公开
摘要
本发明提供能够抑制在高温使用时在套筒的周围产生裂纹的喷淋头的制造方法、喷淋头以及等离子体处理装置。制造在向基板实施利用等离子体的处理的等离子体处理装置中向配置有基板并生成等离子体的腔室内的等离子体生成空间喷出用于生成等离子体的处理气体的喷淋头的制造方法包括：准备金属制的基材的工序，该金属制的基材构成主体部的具有气体喷出孔的部分，并具有套筒安装孔；将套筒安装于基材的套筒安装孔的工序，在所述套筒的内部具有气体喷出孔；对基材和套筒进行HIP处理，将套筒HIP接合于基材的工序；以及在基材的腔室侧的面和套筒的腔室侧的面形成陶瓷制的喷镀膜的工序。
基本信息
专利标题 ：
喷淋头的制造方法、喷淋头以及等离子体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613656A
申请号 ：
CN202111423900.3
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
佐佐木芳彦南雅人
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202111423900.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 B05B1/00 B05B15/14 C23C16/455
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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