含金属抗蚀剂用稀释剂组合物
公开
摘要
本发明提供一种含金属抗蚀剂用稀释剂组合物，其包含烷醇胺化合物、芳香族醇化合物以及有机溶剂。本发明的含金属抗蚀剂用稀释剂组合物能够在使含金属抗蚀剂、特别是锡基抗蚀剂的使用量减少或者将其去除时有效使用。
基本信息
专利标题 ：
含金属抗蚀剂用稀释剂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624967A
申请号 ：
CN202111504806.0
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2021-12-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
全吉敏安奎相赵庸桓尹嚆重
申请人 ：
东友精细化工有限公司
申请人地址 ：
韩国全罗北道
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
许静
优先权 ：
CN202111504806.0
主分类号 ：
G03F7/42
IPC分类号 ：
G03F7/42
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/42
剥离或剥离剂
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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