一种基于人在回路中抽样迭代的芯片缺陷检测方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种基于人在回路中抽样迭代的芯片缺陷检测方法,该方法首先采集相机拍摄得到芯片RGB图像,再根据有无缺陷进行标注,若有缺陷,识别出缺陷位置,按缺陷位置分为10类并按序号0~9进行标注。在初始模型训练阶段,使用特征提取深度网络对输入的图片进行特征提取,再使用四层卷积神经网络进行分类,将最大概率的索引数作为缺陷检测的分类结果。再对陆续从工厂获取的多批次的未标注数据进行缺陷检测,对每批次中最大概率小于设定阈值的图片进行存储,再随机抽取10%的样本数据,传递给人类专家进行人工标注后,使用强化学习进行模型训练,得到检测结果。本发明将人的知识融入训练流程中,保证了训练的可持续性,满足了工业界的高精度要求,更具有可实施性。

基本信息
专利标题 :
一种基于人在回路中抽样迭代的芯片缺陷检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114359163A
申请号 :
CN202111509736.8
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
何峻张郡航吴兴蛟马天龙
申请人 :
华东师范大学
申请人地址 :
上海市闵行区东川路500号
代理机构 :
上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
徐筱梅
优先权 :
CN202111509736.8
主分类号 :
G06T7/00
IPC分类号 :
G06T7/00  G06V10/44  G06V10/764  G06V10/82  G06K9/62  G06N3/04  G06N3/08  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06T 7/00
申请日 : 20211210
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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