本发明提供一种大腔体、多功能化学气相沉积设备及使用方法，包括设备本体、基材传输系统、热丝组件、可升降系统、视镜系统、载物台、气体供给系统、尾气处理系统；设备本体包括并列设置的至少两个腔体和设置在腔体之间使相邻的两个腔体连通的隔板，所有的腔体共用气体供给系统和尾气处理系统。本发明通过设置在腔体中间的隔板的开合，将多个腔体连动，沉积时间较长时，可以使各个腔体同时进行沉积，工艺条件和顺序复杂时，沉积工艺可以在多腔体中按照工艺顺序进行传递，并且采用共同的通用工程系统、配电系统、自动化系统、尾气和循环水处理系统，节省硬件投资和运行成本，实现大规模工业化，适用于同时沉积平面放置和垂直型放置的基材。