本公开提供了一种紫外发光二极管芯片及其制备方法，包括：衬底、第一半导体层、多量子阱层、第二半导体层、反射镜层、第一电极和第二电极；第一半导体层、多量子阱层和第二半导体层依次层叠于衬底的表面，第二半导体层的表面具有露出第一半导体层的凹槽，第一电极位于凹槽内且与第一半导体层接触，第二电极位于第二半导体层的表面；反射镜层包括依次层叠在第二半导体层的表面上的第一绝缘层、金属反射层和第二绝缘层，第一绝缘层、金属反射层和第二绝缘层均延伸至凹槽内，第一绝缘层部分位于第一电极和第二电极表面。本公开能提升紫外发光二极管芯片的发光效果，且有效防止封装后锡扩散而导致漏电的问题，提高芯片的可靠性。