本发明涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种操作方便的CVD蚀刻方法和蚀刻装置，包括底座，所述底座顶部设有水箱、放置台、热风发生器、加热箱和蚀刻仓，所述水箱顶部设有进液管，所述进液管与所述箱体内部相通，所述进液管上设有第一密封阀，所述水箱顶部设有水泵，所述水泵一端与抽水管一端连接，所述抽水管另一端伸入所述水箱内部，所述水泵另一端与出水管一端连接，所述出水管另一端与雾化喷头一端连接，所述放置台上开设有放置槽，所述放置台顶部一侧与支柱一端连接，所述支柱另一端与所述出水管连接，所述热风发生器上设有出气管，本发明一种操作方便的CVD蚀刻方法和蚀刻装置，解决了目前设备不方便清洗和烘干效果差的问题。