本发明公开了一种掩模版传输组件及光刻系统，包括第一版库，用于承载版盒，第一版库连接有第一升降结构，以通过第一升降结构将目标掩模版传输至第一交接工位；第一机械手，被配置为在第一交接工位获取目标掩模版，并放入第二版库；第二版库，用于承载目标掩模版，第二版库连接有第二升降结构，以通过第二升降结构实现在第一交接工位与第二交接工位之间的移动，第二交接工位具有第二高层，且第二高层高于第一高层；第二机械手，被配置为在第二交接工位，从第二版库中取出目标掩模版，并传输至光刻机的掩模台。本公开的掩模版传输组件及光刻系统，通过可升降的第一版库和第二版库的配合，实现友好上料的同时提高掩模版的转运效率。