一种芯片封装结构及封装方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种芯片封装结构及封装方法,涉及半导体技术领域,本发明的芯片封装方法,包括:提供芯片,芯片上设置多个芯片引脚;提供基板,基板上对应芯片引脚设置有多个第一通孔,第一通孔内壁和基板表面的第一通孔边缘设置有基板引脚;采用贴片工艺,使用连接层将基板与芯片连接,以将芯片贴装在基板上,芯片引脚与第一通孔对应;采用塑封工艺,在芯片远离连接层的一侧表面制备塑封层;去除连接层与第一通孔对应位置处的材料,以在连接层上形成多个第二通孔;在第一通孔和第二通孔内填充流体导电物并固化,以使芯片引脚与基板引脚电连接。本发明提供的芯片封装结构及封装方法,对互连微孔形貌要求低,进而能够提高互连的电学性能和可靠性。

基本信息
专利标题 :
一种芯片封装结构及封装方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114361103A
申请号 :
CN202111666616.9
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
向迅燕英强王垚郑伟李子白陈志涛
申请人 :
广东省科学院半导体研究所
申请人地址 :
广东省广州市天河区长兴路363号
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
严小艳
优先权 :
CN202111666616.9
主分类号 :
H01L21/768
IPC分类号 :
H01L21/768  H01L21/60  H01L23/498  H01L23/538  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/71
限定在组H01L21/70中的器件的特殊部件的制造
H01L21/768
利用互连在器件中的分离元件间传输电流
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/768
申请日 : 20211231
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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