顶推装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种顶推装置。包括：安装平台。承载平台，与所述承载平台滑动连接。第一调节机构，与所述安装平台连接并用于推动所述承载平台沿Z轴方向运动。第二调节机构，设置在所述承载平台上；及顶推机构，设置在所述第二调节机构上并用于顶推工件，所述第二调节机构能够驱动所述顶推机构沿X轴方向和Y轴方向运动。通过第一调节机构和第二调节机构的共同作用，可以使得顶推机构在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向三个方向运动，提高顶推机构运动的自由度，从而实现顶推机构在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向位置的快速和精确调节，即快速且精确调节顶推机构在三维空间内的位置，最终提高整个顶推装置的工作效率和调节精度。
基本信息
专利标题 ：
顶推装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121500833.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-07-02
授权号 ：
CN216311745U
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
郑嘉瑞尹祖金李虎周宽林钱正
申请人 ：
深圳市联得自动化装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道大浪社区同富邨工业园A区99栋1-2层
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
李辉
优先权 ：
CN202121500833.6
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-04-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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