本实用新型提供一种硅晶圆精抛光装置，包括支架、隔板、抛光机构、升降座和调节机构；所述支架下端安装有移动轮；隔板安装在支架的上端，且隔板上设有凹槽结构；抛光机构安装在隔板上；升降座的下端安装有四组升降杆，升降杆的下端安装在隔板上；调节机构安装在升降座上端；本实用新型设有刷轮，抛光带在转动时能够带动刷轮转动，刷轮能够将抛光带上的粉末清扫掉，提高抛光带的打磨效果；活动臂与安装座之间设有液压杆，当抛光带松弛后，通过调节液压杆的伸缩可调整抛光带的松紧度，且调节机构上设有防撞件和锁紧机构，防撞件能够起到减震缓冲的作用，锁紧机构能够对螺纹杆进行锁紧，防止误触摇柄导致工件位置发生变化，从而影响抛光精度。