一种FLASH晶圆自动检测机
授权
摘要

本实用新型提供了一种FLASH晶圆自动检测机,包括工作台和驱动电机,所述驱动电机位于所述工作台下方,所述工作台上设有四轴驱动机构及多个检测机构,所述驱动电机分别与四轴驱动机构和检测机构电连接;所述检测机构包括安装板,所述安装板固定安装在所述工作台下表面,所述安装板一侧固定设置有针卡固定组件,另一侧固定设置有产品固定组件,所述产品固定组件位于所述工作台上表面,所述针卡固定组件位于所述产品固定组件的上方。通过四轴驱动机构与检测机构配合,从而实现自动上下料和对产品进行检测。本实用新型解决了手动检测晶圆,人工成本高、操作不便、生产效率较低的问题。

基本信息
专利标题 :
一种FLASH晶圆自动检测机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122509456.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-19
授权号 :
CN216310188U
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
庄义发王顺丰陈金锋
申请人 :
广西科林半导体有限公司
申请人地址 :
广西壮族自治区南宁市吴圩镇园艺一路52号第5栋第1、2、3、4、5层厂房及第7栋1、2、3、4、5层厂房
代理机构 :
深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曾令安
优先权 :
CN202122509456.9
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26  G01R31/28  G01R1/04  H01L21/67  H01L21/66  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-04-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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