本实用新型提出一种离子注入机的注入过程监测装置，包括支承装配组件、转接定位组件、传动调节组件、承载定位组件、轴向监测组件及径向监测组件，该监测装置在承载座体上设置轴向探头与径向探头，使得监测方位更为全面，得以更全面地掌握离子注入过程中的离子分布情况，给工艺调节或改进提供依据，并且承载座体可随调节座体一同偏转，使得轴向探头与径向探头的监测位置可根据需要进行连续或间断变换，减小某些探头位置偏差造成的影响，有利于提升监测效率和精度，从而提高产品质量。