一种硅片清洗篮
授权
摘要
一种硅片清洗篮，包括框架，框架上部设置开口，其内部沿长度方向设置放置腔，放置腔靠近开口的两侧内壁设置沿框架长度方向延伸的角钢，角钢的竖直边向上固定在框架的内壁上，放置硅片的放置盒上端两侧的凸出边沿能够同时跨在两个角钢的水平边上；角钢的水平边上在长度方向上分布多个限位孔，限位孔的大小、间距与放置盒的凸出边沿上的限位槽匹配，放置盒放置在指定位置，使用定位销同时插在限位孔及限位槽中，使得放置在角钢上的放置盒保持特定的距离。与现有技术相比，该实用新型的有益之处在于：框架中的间距大，并且放置盒定位在角钢上，在清洗时，超声波不会被阻挡，保证硅片能够清洗达标。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片清洗篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122814377.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-16
授权号 ：
CN216225852U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
徐力
申请人 ：
洛阳杰芯电子科技有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市高新区延光路10号国家创业中心科研楼801室
代理机构 ：
洛阳华和知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李世鹏
优先权 ：
CN202122814377.9
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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