一种易于调节的晶圆检测装置
授权
摘要
本申请涉及晶圆检测技术领域，公开了一种易于调节的晶圆检测装置，包括基座，所述基座上表面滑动安装有检测台，所述检测台上表面旋转安装有转盘，所述基座一侧壁竖直固定有竖臂，所述竖臂顶端朝向基座的一侧水平固定有横板，所述横板下表面安装有光电探测器，所述竖臂朝向检测台的侧壁上设置有反光筒；所述检测台远离所述竖臂的一侧壁底部水平设置有滑轨，所述滑轨顶端通过支撑件安装有光源；所述基座上表面的一侧设置有驱动机构，所述驱动机构包括固定在所述基座上表面边侧的固定块，所述固定块上水平螺纹穿设有螺纹杆一。该易于调节的晶圆检测装置，方便晶圆的固定，且具有良好的调节性能。
基本信息
专利标题 ：
一种易于调节的晶圆检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123073041.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
CN216525448U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
季建松
申请人 ：
江阴佳泰电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市临港新城璜土镇迎宾东路33号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123073041.8
主分类号 ：
G01N21/47
IPC分类号 ：
G01N21/47 G01N21/84
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/47
散射，即漫反射
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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