一种应用于晶圆减薄抛光的永磁传动式气浮主轴
公开
摘要
本发明公开了一种应用于晶圆减薄抛光的永磁传动式气浮主轴，包括主轴电机、永磁联轴器以及气体静压轴承；该主轴将转轴分为两段，采用永磁同步联轴器连接转轴代替传统的一段式转轴，可降低主轴的装配和制造难度；在主轴发生卡死故障时使得主轴电机转轴和气体静压轴承旋转结构脱离，既防止了气体静压轴承发生摩擦划伤，又避免了电机发生堵转而造成烧毁；电机工作时会产生大量热量，电机转轴与轴承旋转结构空间分离设计，降低了气体静压轴承的温升和热变形，提高了工作精度。该主轴采用两个止推轴承前后布置，一个径向轴承内侧布置的形式，使得气体静压轴承旋转结构呈工字形，这种布置方式可使主轴获得较大的承载力和刚度。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于晶圆减薄抛光的永磁传动式气浮主轴
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114571362A
申请号 ：
CN202210123909.0
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-02-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
叶乐志陈钊朱林
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈波
优先权 ：
CN202210123909.0
主分类号 ：
B24B41/047
IPC分类号 ：
B24B41/047
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
B24B41/04
床头箱；工作主轴；其有关特征
B24B41/047
用于加工平面的磨头
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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