一种堆叠式芯片以及堆叠式芯片的检测方法
公开
摘要

本发明提供一种堆叠式芯片及堆叠式芯片的测试方法,堆叠式芯片包括:至少两个待测晶圆,至少两个待测晶圆包括:第一待测晶圆以及第二待测晶圆;第一待测晶圆与第二待测晶圆层叠设置,且通过连接层互连;布线层,布线层位于第一待测晶圆远离第二待测晶圆的一侧,布线层包括导电焊盘,第一待测晶圆连接导电焊盘,且第二待测晶圆通过连接层连接导电焊盘;比较单元,比较单元位于至少两个待测晶圆中其中一个待测晶圆上,用于将写入第一待测晶圆的第一数据与写入第二待测晶圆的第二数据进行比较,以确定连接层是否可靠;其中,第二数据是通过连接层写入第二待测晶圆的。其能够检测芯片之间的连接层是否可靠,并且不受焊盘数量的影响。

基本信息
专利标题 :
一种堆叠式芯片以及堆叠式芯片的检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114613757A
申请号 :
CN202210172154.3
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2022-02-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李乾男
申请人 :
西安紫光国芯半导体有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市西安市高新区丈八街办高新六路38号A座4楼
代理机构 :
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张晓薇
优先权 :
CN202210172154.3
主分类号 :
H01L25/065
IPC分类号 :
H01L25/065  H01L23/538  G01R31/28  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L25/00
由多个单个半导体或其他固态器件组成的组装件
H01L25/03
所有包含在H01L27/00至H01L51/00各组中同一小组内的相同类型的器件,例如整流二极管的组装件
H01L25/04
不具有单独容器的器件
H01L25/065
包含在H01L27/00组类型的器件
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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