本发明属于光刻机技术领域，且公开了一种光刻机用晶圆寻边机构，包括机架，所述机架的内部设有上储气管，所述上储气管的顶端固定连通有输气口，所述上储气管的下方设有下储气管，所述上储气管和下储气管的内部均活动安装有固定机构。本发明通过直接控制晶圆片的旋转速度，使得晶圆片的旋转速度易控，同时利用改变固定机构的磁性来实现晶圆片的上下固定，使得晶圆片在旋转过程中存在上下多个对称的支点，通过多个对称的支点来对晶圆片旋转时的力量进行支撑，使得晶圆片在旋转时不会发生晃动，使其更加稳定，利用气体的流动和装置的磁力不仅实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，提高定位寻边效果，降低晶圆片碎裂的可能。